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介绍了扩散炉的温度测量方法，并对扩散炉进行现场测量，通过测量结果对扩散炉温度控制系统进行修正，从而保证了扩散炉性能的稳定可靠。
浅谈扩散炉温度测量方法
【摘 要】
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介绍了扩散炉的温度测量方法，并对扩散炉进行现场测量，通过测量结果对扩散炉温度控制系统进行修正，从而保证了扩散炉性能的稳定可靠。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二十四研究所,国防科技工业5012二级计量站
【出 处】
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计测技术
【发表日期】
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2009年3期
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