【摘 要】
：
本文提出了一种由真空蒸发法淀积的SiO薄膜和在P_2O_5气氛中进行InP的热氧化而形成的 InP本体氧化层(native oxide)所组成的新的双层介质 InP MIS结构.通过高频C-V特性的测量
论文部分内容阅读
本文提出了一种由真空蒸发法淀积的SiO薄膜和在P_2O_5气氛中进行InP的热氧化而形成的 InP本体氧化层(native oxide)所组成的新的双层介质 InP MIS结构.通过高频C-V特性的测量得到了较好的界面特性,其中最小界面态密度达8.5×10~(10)cm~(-2)eV~(-1).本文还通过俄歇电子能谱(AES)的测量探讨了上述InP的本体氧化层在改善InP MIS结构的界面特性方面所起的作用.
In this paper, we propose a new two-layer InP MIS structure composed of SiO thin film deposited by vacuum evaporation and InP bulk oxide formed by thermal oxidation of InP in P 2 O 5 atmosphere. CV measurement showed good interfacial properties, in which the minimum interface state density reached 8.5 × 10 ~ (10) cm ~ (-2) eV ~ (-1) .According to Auger electron spectroscopy The role of bulk InP oxide in improving the interfacial properties of InP MIS structures was investigated.
其他文献
王生是莱州市人,莱州地处渤海的莱州湾畔,海洋渔业资源丰富,当地为了海鲜产品的包装、保鲜和储运,每年都要消耗大量的保温盒,一条渔船或一个普通商贩每年都要消费价值3000～50
由北京市农林科学院农业信息技术研究中心开发的“农务通”是基于ＨＰＣ/ＰＤＡ(掌上电脑/个人数字助理 )硬件软件环境 ,内存储各种农业生产知识、管理知识的小型化信息技术产品 ,也叫“
SrTiO_3陶瓷是钙钛矿型结构,具有很高的电容量,特别适宜制作电容器。用 SrTiO_3系制作的边界层电容器介电系数可高达5～6万,tanδ在1％以内,但非线性系数小,缺乏电容器的功能。
福建省浦城正在生化有限公司在原有《灭火作战预案》、《冰机工段防事故预案》等8项预案的基础上，又制定出台了《危险化学品事故应急救援预案》、《使用硫酸汞防事故预案》等9项事故预案。从而填补了该公司危险化学品单项防事故预案的空白。这些危险化学品专项制度和预案，经该公司总经理批准后，于2003年12月1日起正式实施，公司安全设备科在此之前利用《安全设备简报》进行全面宣传，并组织危险化学品相关从业人员进行培
在小学语文教学中作文教学一直是很重要的一个组成部分,教师也需要跟着时代的发展不断改变自身的教学方法,以适应学生的特点.在当前小学语文教学中还有许多的问题,作文教学也
多少年来,我国的皮(腰)带均为大厂所生产,虽然耐用,但是价高。不少人想手工制作,又无良好的生产设备和技术,多功能手工制皮带机的诞生,为不少无业、下岗人员提供了一条好的
本文重点介绍了棱镜粘结夹模几个重要技术要求项目的检测方法
This article focuses on the Prism bonding clamping mode several important technical requirements of th
本刊期期都有“无偿助业大行动”活动。每期选出一个前景广阔、投资少、见效快的实用项目,企业提供技术或产品。参与方法:将全年杂志订单邮寄(用挂号信)或传真至编辑部,写清
本文介绍一种由微机、逻辑分析仪和一块通用接口电路板组成的简易通用数字开发系统(SVDDS),在不增加任何新的专用设备条件下,能有效地调试和开发多功能雷达可编程数字信号处
读罢《乡镇论坛》2007年9月下半月刊发表的一位乡长的自述,《我们被变了味的指标考核逼疯了》,真是感同身受。我是乡镇的统计人员,每每看到统计数字,就不由得心里发颤,这些数