【摘 要】
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2013年的IPF会议讨论了纳米工艺中的一个关键技术:电量存储.众所周知,这一技术与电动车的发展息息相关.rn原子层沉积rn如何在功能材料的表面涂上原子级的涂层一直是表面科学
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2013年的IPF会议讨论了纳米工艺中的一个关键技术:电量存储.众所周知,这一技术与电动车的发展息息相关.rn原子层沉积rn如何在功能材料的表面涂上原子级的涂层一直是表面科学研究中的主要内容.来自Ultratech公司的加尼甚·孙达拉姆(Ganesh Sundaram)为大家简述了工业应用中的方法之一,即原子层沉积(ALD).
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