论文部分内容阅读
借助弹性力学和板壳力学理论，建立了双岛型耐高温压力传感器应变膜的简化力学模型，得到近似应力分布的数学模型。利用有限元分析方法，借助ANSYS仿真软件，对应变膜进行一系列的计算机模拟，探讨了简化应力模型的合理性以及温度对应力差分布的影响，为力敏电阻在应变膜上的布置、研发新颖的高温压力传感器芯片提供有力的依据。