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在90°散射角下,从基本激发方程出发,导出了以基体对入射与出射X射线质量吸收系数比为变量的最佳入射角表达式。按所求最佳入射角设计源-靶-探测器结构,使厚靶的低能端X射线射出介面的强度增强约20%,而且由于出射角减小,缩短了靶-探测器距离,从而使全谱探测效率提高20%左右。采用椭圆锥面准直孔、并将口部削成适当角度,可显著减小散射本底。