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激光辐射致热单层薄膜温度响应
激光辐射致热单层薄膜温度响应
来源 :光学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:budd
【摘 要】
:
用热传导方程计算了在脉宽10ns、波长1.06μm的激光辐射下,TiO_2单层膜的温度场分布.结果表明:膜层的热参数增大,其峰值温度明显降低,而基板热参数变化对膜层温度响应影响很
【作 者】
:
汤雪飞
范正修
【机 构】
:
ShanghaiInstofOpticsandFine
【出 处】
:
光学学报
【发表日期】
:
1992年11期
【关键词】
:
温度分布
薄膜
热导率
激光技术
Temperature distribution
thin film
thermal parameters.
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用热传导方程计算了在脉宽10ns、波长1.06μm的激光辐射下,TiO_2单层膜的温度场分布.结果表明:膜层的热参数增大,其峰值温度明显降低,而基板热参数变化对膜层温度响应影响很小,温度场分布由电场分布决定,1/4波长薄膜的峰值温度低于半波长薄膜的峰值温度.
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