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抛光石英玻璃经HF溶液腐蚀后，表面存在周期分布的波纹。通过计算波纹的曲率半径，对比切、研、抛加工工艺和表面形貌，确定表面波纹来源于内圆切割机切片阶段，并且波纹随后续加工趋于平缓，最终掩盖在抛光层之下。
抛光石英玻璃亚表面波纹研究
【摘 要】
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抛光石英玻璃经HF溶液腐蚀后，表面存在周期分布的波纹。通过计算波纹的曲率半径，对比切、研、抛加工工艺和表面形貌，确定表面波纹来源于内圆切割机切片阶段，并且波纹随后续加工趋
【机 构】
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中国建筑材料科学研究总院
【出 处】
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材料导报：纳米与新材料专辑
【发表日期】
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2014年1期
【基金项目】
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深紫外光学石英玻璃材料的研制项目（2012DFAS1310）,国家科技支撑计划（2013BAE03B01）
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