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LTCC作为一种优异的加工方式,是实现小型化、高频化的有力手段。结合LTCC模块小型化,特别是表面线条精细化的要求,综述了LTCC模块表面线条精细加工的四种方法:表面薄膜加工技术、厚膜光刻加工技术、精密丝网印刷技术、Inkjet浆料直写技术。总结了各种方法的适用范围、发展概况和趋势。
LTCC模块表面线条的精细化加工
【摘 要】
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LTCC作为一种优异的加工方式,是实现小型化、高频化的有力手段。结合LTCC模块小型化,特别是表面线条精细化的要求,综述了LTCC模块表面线条精细加工的四种方法:表面薄膜加工技
【机 构】
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中国电子科技集团公司第五十四研究所
【出 处】
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电子工艺技术
【发表日期】
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2014年04期
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