扩散、合并和粗化:沉积在液体基底表面Ag原子团簇及薄膜的演变过程

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jeanlife
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研究了沉积在液体基底表面的Ag原子团簇的扩散、合并和粗化机制.对薄膜生长过程的原位观察结果表明:沉积在硅油表面的Ag原子首先凝聚成具有网状结构的薄膜;然后薄膜破裂成分枝状的碎片,并逐渐凝聚成准圆形团簇;通过扩散和合并,准圆形团簇的尺寸随时间而增大,其数密度随时间而减小.研究发现,准圆形团簇对的扩散系数D和团簇对的总面积S0满足指数关系D∝S-α0,其中指数α=0.54±0.08.此外,还对Ag原子准圆形团簇的相对尺寸分布函数及凝聚速率做了详细研究.
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