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采用水基喷雾造粒技术制备SiC/纳米TiN复合粉体,并借助二步成型和无压烧结技术制备SiC/纳米TiN复合陶瓷,利用场发射扫描电镜结合能谱分析（SEM/EDS）研究了纳米TiN颗粒在SiC/纳米TiN复合粉体、素坯及烧结体过程中的分布状态,借此评价制备工艺。
SEM/EDS分析纳米TiN颗粒在SiC陶瓷中的分布状况
【摘 要】
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采用水基喷雾造粒技术制备SiC/纳米TiN复合粉体,并借助二步成型和无压烧结技术制备SiC/纳米TiN复合陶瓷,利用场发射扫描电镜结合能谱分析（SEM/EDS）研究了纳米TiN颗粒在SiC/纳米
【机 构】
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浙江大学材料科学与工程学系
【出 处】
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材料科学与工程学报
【发表日期】
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2009年6期
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