【摘 要】
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为确保晶圆表面图形的品质．外观检查工序非常重要。直至目前，在半导体制造工厂中，外观检查主要依靠人眼借助显微镜来进行检查。人眼检查存在以下诸多问题：①检查人员间的判断差别
【机 构】
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东丽工程株式会社,上海华丽工程技术有限公司
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为确保晶圆表面图形的品质．外观检查工序非常重要。直至目前，在半导体制造工厂中，外观检查主要依靠人眼借助显微镜来进行检查。人眼检查存在以下诸多问题：①检查人员间的判断差别；②检查人员精力不能始终保持高度集中的状态：③培养一个检查人员需要花费较长的时间；④劳动环境的限制；⑤产量的急剧增减导致人员配置困难；⑥降低成本要求等的问题。特别是在芯片集成度、芯片附加价值飞速提高、芯片尺寸增大（300mm）的今天，依靠人为检查所遇到的问题更显突出。
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