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先进的栅堆垛技术的趋势与传统方法明显不同，传统方法中由氧化硅或氮氧化硅（SiON）制成的栅介质上端是重掺杂多晶硅的栅电极。虽然这些材料制作方便，但是换成金属栅和高k栅介质能在高晶体管速度和低电流泄漏方面获得更好的性能。
制作金属栅的新方法
【摘 要】
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先进的栅堆垛技术的趋势与传统方法明显不同，传统方法中由氧化硅或氮氧化硅（SiON）制成的栅介质上端是重掺杂多晶硅的栅电极。虽然这些材料制作方便，但是换成金属栅和高k栅介质能
【机 构】
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SemiconductorInternational主编
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2006年10期
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