【摘 要】
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◇精密加工基于超声研磨的超精密加工………………………………(1)精密加工中非球面工件面形精度的在机测量……………(1)基于小型三坐标测量机的机械研究………………………
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◇精密加工基于超声研磨的超精密加工………………………………(1)精密加工中非球面工件面形精度的在机测量……………(1)基于小型三坐标测量机的机械研究………………………(1)超光滑表面清洗技术现状及其发展趋势…………………(2)激光陀螺超光滑反射镜基片的光学加工和检测
◇ Precision Machining Ultra-precision machining based on ultrasonic polishing .................................... (1) In-plane measurement of surface accuracy of aspherical workpiece in precision machining ............... (1) Based on small coordinate Measuring Machine Mechanical Research ........................... (1) The current status of ultra-smooth surface cleaning technology and its development trend ....................... (2) Laser gyro ultra-smooth mirror substrate optical processing and testing
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