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单晶硅在生产过程中会产生大量的废水,目前,国内对单晶硅废水的处理技术应用研究较少,在调研单晶硅行业废水处理现状的成功经验的同时,针对某单晶硅企业生产废水特点,经过试验,采用絮凝沉淀——微电解——A/O组合工艺处理单晶硅生产废水。工程实际运行表明:该工艺处理效果良好,能确保出水水质达到《污水综合排放标准》GB8918-1996中的一级排放要求,是适合单晶硅生产废水的处理技术。