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基于光固化快速成型制造技术，结合光刻技术、牺牲层技术以及化学镀膜技术，研究了一种新型的微细加工方法。提出了非导电极板（光敏树脂固化物）镀膜的新方案，设计了一种有较大驱动位移的微型电容式激励器，并介绍了其加工制作的工艺流程。实验结果表明此微细加工方法是可行的，从而开辟了微细加工的新途径。
微机械及微细加工方法的研究
【摘 要】
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基于光固化快速成型制造技术，结合光刻技术、牺牲层技术以及化学镀膜技术，研究了一种新型的微细加工方法。提出了非导电极板（光敏树脂固化物）镀膜的新方案，设计了一种有较大驱动位
【机 构】
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西安理工大学机械与精密仪器工程学院,西安理工大学机械与精密仪器工程学院,日本国近畿大学,西安交通大学
【出 处】
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西安理工大学学报
【发表日期】
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2001年1期
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