【摘 要】
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研究了钼基钛膜表面氧气氧化工艺;用XRD分析了氧气氧化层的物相,其物相随氧化条件而异,含有Ti、TiO2、TiO、Ti2O、Ti3O和Ti6O等多种物相;用XPS研究了氧气氧化层钛的主要价态,
【机 构】
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中国工程物理研究院核物理与化学研究所; 中国工程物理研究院核物理与化学研究所 绵阳 621900; 绵阳 621900;
【基金项目】
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中国工程物理研究院行业预研基金(20020536);中国工程物理研究院核物理与化学研究所科技创新基金(421040403)
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研究了钼基钛膜表面氧气氧化工艺;用XRD分析了氧气氧化层的物相,其物相随氧化条件而异,含有Ti、TiO2、TiO、Ti2O、Ti3O和Ti6O等多种物相;用XPS研究了氧气氧化层钛的主要价态,其主要价态为+4、+3和+2价;用AES深度剖析研究了氧气氧化层的厚度,并研究了温度、氧气压力和时间对氧气氧化层厚度影响的规律;所有氧气氧化层均不与腐蚀介质发生作用,证明了该氧化层致密连续。
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