【摘 要】
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α测厚仪用于任何材料的超薄膜厚度测量,范围0～4mg/cm~2,精密度好于1.5％。由于采用了空气等效法,使测量过程能在空气中进行。仪器简单、精密度高。本文推导了相对质量阻止本领
【机 构】
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中国科学院上海原子核研究所rrrrrrrrn,中国科学院上海原子核研究所
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α测厚仪用于任何材料的超薄膜厚度测量,范围0～4mg/cm~2,精密度好于1.5％。由于采用了空气等效法,使测量过程能在空气中进行。仪器简单、精密度高。本文推导了相对质量阻止本领作为E_α、Z和A的函数的半经验公式,它和齐格勒数据表的偏差小于8％。
Alpha thickness gauge is used for the ultrathin film thickness measurement of any material, the range is 0 ~ 4mg / cm ~ 2 and the precision is better than 1.5%. Due to the air equivalent method, the measurement process can be carried out in the air. Instrument is simple, high precision. In this paper, we derive the semi-empirical formula of relative mass inhibition as a function of Eα, Z and A, which is less than 8% deviation from the Ziegler data table.
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