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本文介绍用简单而准确的相位补偿法（Ｐｈａｓｅ ＣｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎＭｅｔｈｏｄ）来测量液晶盒中液晶层的厚度。此方法可用于平行排列的液晶盒（Ｐａｒａｌ－ ｌｅｌ ＥＣＢ Ｃｅｌｌ）及具有任何扭曲角的ＴＮ盒。其误差小于１％。测量面积可小至 １００μｍｘ１００μｍ。
利用相位补偿法测量液晶盒中液晶层的厚度
【摘 要】
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本文介绍用简单而准确的相位补偿法（Ｐｈａｓｅ ＣｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎＭｅｔｈｏｄ）来测量液晶盒中液晶层的厚度。此方法可用于平行排列的液晶盒（Ｐａｒａｌ－ ｌｅｌ ＥＣＢ Ｃｅｌｌ）及具有任何扭曲角的ＴＮ盒。其误差小于１％。测量面积可小至 １００μｍｘ１００μｍ。
【机 构】
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美国IBMThomasJ.Watson研究中心
【出 处】
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现代显示
【发表日期】
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1994年2期
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