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与传统的传感器相比,MEMS传感器具有体积小、成本低、可靠性高、易于集成和实现智能化等特点,而近年来更多的地震仪器应用此技术,更加有助于地震研究的深入。本文分析了MEMS的发展现状,介绍了MEMS加速度计的主要分类,通过理论分析和实测背景噪声,比较机械式力平衡加速度计和MEMS加速度计的性能指标,并初步探索地震预警采用何种类型设备的技术成熟度及其可行性。