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采用离子溅射法制备金薄膜,研究了不同厚度金薄膜的光学及电学性能.结果表明：金薄膜透光性随着厚度的增加显著减小,电阻率随着厚度的增加而减小,在薄膜厚度为20 nm时,电阻率小,透光性较高,适合作透明电极.
金电极的制备和特性研究
【摘 要】
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采用离子溅射法制备金薄膜,研究了不同厚度金薄膜的光学及电学性能.结果表明：金薄膜透光性随着厚度的增加显著减小,电阻率随着厚度的增加而减小,在薄膜厚度为20 nm时,电阻率小
【机 构】
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河南科技学院,鹤壁市机电信息工程学校
【出 处】
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河南科技学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2014年6期
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