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0前言 化学抛光可提高铜及其合金制件的光亮度。传统的化学抛光是在浓硫酸一硝酸一盐酸中进行的，其中硝酸的体积分数高达400-500mL／L，抛光时有大量氮氧化物气体逸出，不仅严重污染环境，而且危害人体健康。多年来，许多同行探索低硝酸或无硝酸化学抛光工艺，即无黄烟化学抛光工艺，取得了成效。
铜及其合金无黄烟化学抛光
【摘 要】
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0前言 化学抛光可提高铜及其合金制件的光亮度。传统的化学抛光是在浓硫酸一硝酸一盐酸中进行的，其中硝酸的体积分数高达400-500mL／L，抛光时有大量氮氧化物气体逸出，不仅严重污染
【机 构】
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洛阳立微电子有限公司
【出 处】
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电镀与环保
【发表日期】
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2016年6期
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