【摘 要】
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本文对薄膜换能器和传感器的现况作了扼要的评述.介绍了SiC热敏电阻,SnO2气敏电阻、PLT热释电红外探测器和ZnO压电换能器等薄膜器件的原理、结构、性能和应用情形等. 薄膜传
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本文对薄膜换能器和传感器的现况作了扼要的评述.介绍了SiC热敏电阻,SnO2气敏电阻、PLT热释电红外探测器和ZnO压电换能器等薄膜器件的原理、结构、性能和应用情形等. 薄膜传感器和换能器具有体积小,比表面积大,省料和便于集成化等优点.现在,有些薄膜传感器和换能器已很成熟并已付诸实用.但是,多数薄膜器件还都在研制中. 近年来,薄膜科学和技术发展很快.薄膜传感器和换能器今后必将大有发展,但当前尚有许多问题有待解决.更多还原
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