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磁性驱动器在微机电系统中有广泛的应用前景,获得电磁驱动的主要方法是在微驱动器表面电铸一层磁性镀层。该文采用复合电铸技术制备了CoNiMnP-BaFe12O19磁性纳米复合镀层,分别用SEM、EDS和VSM对复合镀层表面形貌、成分及电铸工艺参数(电流密度、搅拌强度、溶液温度及电铸时间)对复合镀层矫顽力Hc的影响进行分析。实验结果表明:BaFe12O19纳米颗粒的加入改变了Co、Ni、Mn和P在镀层中的含量,增大了镀层的表面粗糙度值,通过控制电铸参数可有效地调节镀层的矫顽力。