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激光直线度干涉仪是高精度的直线度测量仪器,其测量附件有好几种。本文重点介绍了几种激光干涉仪直线度测量附件,分析了它们的优缺点和技术特点,并提出了直线度测量容易忽视的几个问题。
激光直线度干涉仪浅析
【摘 要】
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激光直线度干涉仪是高精度的直线度测量仪器,其测量附件有好几种。本文重点介绍了几种激光干涉仪直线度测量附件,分析了它们的优缺点和技术特点,并提出了直线度测量容易忽视
【机 构】
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成都工具研究所
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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2010年6期
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