【摘 要】
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本文阐述了栅网方法及其具体的球差系数测量中的问题,指出了其特有的优点,并对国产DX-3扫描电镜物镜的球差系数进行了实际测量。
This paper describes the grid method and
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本文阐述了栅网方法及其具体的球差系数测量中的问题,指出了其特有的优点,并对国产DX-3扫描电镜物镜的球差系数进行了实际测量。
This paper describes the grid method and its specific measurement of spherical aberration coefficient problems, points out its unique advantages, and makes a practical measurement of the spherical aberration coefficient of the domestic DX-3 SEM.
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