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本文作者结合多年的实践工作经验对三维精密工作台定位精度控制关键部位是电机驱动原理及定位速度进行探讨,并且很好的处理ARM与FPGA响应速度瓶颈存在的疑问,为了突出它的优点高速度、高精度(±1μm)的三维定位,并将其很好的配合到三坐标测量机中.这个系统硬件的优点在于:结构简单、可赖性高;并能灵活充分的突出定制应用.