【摘 要】
：
主要阐述了内层DES（显影、蚀刻、剥离工艺）残铜缺陷的种类，导致DES残铜缺陷的污染源的定位。对不同DES残铜缺陷进行分类研究，首先对显影类残铜缺陷进行了定位性试验验证，确定污染
论文部分内容阅读
主要阐述了内层DES（显影、蚀刻、剥离工艺）残铜缺陷的种类，导致DES残铜缺陷的污染源的定位。对不同DES残铜缺陷进行分类研究，首先对显影类残铜缺陷进行了定位性试验验证，确定污染物来源于显影水洗第一缸，原因为水溶性干膜由于溶解度的剧烈变化导致有机物的析出从而导致了后续的显影类残铜和蚀刻类残铜。对于蚀刻类残铜的来源进行了分析定位，同时给出了控制措施。对以上措施的综合性实施后，残铜数据有较前期有明显的改善并能够长时间稳定在优良水平。
其他文献
本文介绍了世界聚氨酯纤维 (氨纶 )的最新发展概况、干纺氨纶和熔纺氨纶的综合技术经济和产品性能对比、熔纺氨纶在研究开发和产业化方面的新进展 ,并重点介绍了Zinser公司的
药物相容性指的是由于药物与所接触的材料、容器等发生作用而对药物的治疗而产生的相互影响,包括材料的可提取物、浸出物以及由于其相互作用给药品质量及使用功能带来的风险
人类社会发展的历史在某种意义上可以说是一部描述人与自然之间相互关系的历史。在人类社会发展过程中由于经济、社会、文化等活动的融入,引发了关于人类赖以生存的自然生态
通过对参战双方各种攻击及防御装备的运动和声学特性以及海洋环境参数进行数学建模,利用全数字计算机仿真技术建立一个水声对抗推演及效能评估系统,是当前条件下对水声对抗系
目的分析12例肺癌致脑膜癌病患者的临床特征。方法对12例经脑脊液细胞学证实的肺癌致脑膜癌病患者的临床资料进行分析。结果首发症状多为头痛、呕吐,头颅CT或MRI检查多无异常
<正>早在1935年,小说家Stanley Weinbaum就在小说中描述过一款VR(虚拟现实)眼镜,该小说被认为是世界上率先提出虚拟现实概念的作品。经过多年的研究和更新换代,今年被认为是"
我国修改后的婚姻法确立了离婚损害赔偿制度,主要通过列举式的方法,对一些可以适用离婚损害赔偿的具体情形作了规定,能够起到保护婚姻关系中无辜当事人的权益。但是我国离婚
针对硅系延期药生产工艺在半秒延期电雷管中应用时遇到的问题,分别从延期药配方的选择、硅加工工艺、混药工艺及筛药次数等进行优选,找到了解决问题的办法。
甲醇作为一种替代燃料在汽车上的应用已得到证实。甲醇柴油双燃料重型货车是否具备商业化推广条件,需要从多方面获得支持,其中车辆价值是重要因素之一。文章从国家政策、市场