【摘 要】
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设计一种基于低温共烧陶瓷（LTCC）的无线无源压力传感器。电感器和电容器并联组成的LC谐振回路构成传感器的工作电路，采用厚膜工艺完成了平面螺旋电感器和平行板电容器的制备。传
【机 构】
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中北大学电子测试技术国家重点实验室,中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
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设计一种基于低温共烧陶瓷（LTCC）的无线无源压力传感器。电感器和电容器并联组成的LC谐振回路构成传感器的工作电路，采用厚膜工艺完成了平面螺旋电感器和平行板电容器的制备。传感器利用LC谐振回路的谐振频率对不同压力的响应来表征传感器的应变特性，采用2个电感耦合的方式来实现无线检测。测试结果显示：传感器的谐振频率随外加压力的增大而减小，其谐振频率变化对压力的响应灵敏度约为331．70kHz／bar。
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