【摘 要】
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基于衍射条纹的产生机理，从图形设计和腔室环境方面提出改善措施，设置不同的重叠区与图形重叠占比、不同的重叠区位置类型以及不同腔室温度和相对湿度波动，观察版材的衍射条纹变化。试验表明，随着重叠区与图形重叠比例的增加，其衍射条纹不良的严重程度逐渐增加；与混合重叠区位置类型相比，采用单一重叠区位置类型在衍射条纹上表现更佳；腔室温度波动超过0.01℃、相对湿度波动超过32%时，聚焦气流波动超标，衍射条纹不良
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基于衍射条纹的产生机理，从图形设计和腔室环境方面提出改善措施，设置不同的重叠区与图形重叠占比、不同的重叠区位置类型以及不同腔室温度和相对湿度波动，观察版材的衍射条纹变化。试验表明，随着重叠区与图形重叠比例的增加，其衍射条纹不良的严重程度逐渐增加；与混合重叠区位置类型相比，采用单一重叠区位置类型在衍射条纹上表现更佳；腔室温度波动超过0.01℃、相对湿度波动超过32%时，聚焦气流波动超标，衍射条纹不良明显变严重。通过管控图形设计和光刻温湿度，在一定程度上可以降低衍射条纹的发生，对于其他条纹不良的改善也有一定的借鉴意义。
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