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期刊论文
CS系列气体质量流量控制器/流量到
CS系列气体质量流量控制器/流量到
来源 :中国集成电路 | 被引量 : 0次 | 上传用户:saarelff
【摘 要】
:
北京七星华创电子股份有限公司的CS系列气体质量流量控制器/流量计荣获2008年度中国半导体创新产品和技术奖。
【机 构】
:
北京七星华创电子股份有限公司
【出 处】
:
中国集成电路
【发表日期】
:
2009年4期
【关键词】
:
质量流量控制器
CS系列
气体
创新产品
半导体
流量计
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北京七星华创电子股份有限公司的CS系列气体质量流量控制器/流量计荣获2008年度中国半导体创新产品和技术奖。
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