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期刊论文
粉料预处理方法对氮化铝晶体形态的影响
粉料预处理方法对氮化铝晶体形态的影响
来源 :中国材料科技与设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qq912214209
【摘 要】
:
以氮化铝粉料为原料,在高纯氮气条件下用物理气相法制备氮化铝晶体。采用不同方法对氮化铝粉料进行预处理,研究它对氮化铝晶体形态的影响。实验结果表明,通过对氮化铝粉料的预烧
【作 者】
:
孙秀明
郑瑞生
武红磊
杨帆
刘文
敬守勇
【机 构】
:
深圳大学光电子学研究所
【出 处】
:
中国材料科技与设备
【发表日期】
:
2007年3期
【关键词】
:
氮化铝
晶体
物理气相法
晶体形态
Aluminum nitride Crystal Physical vapor technique Crystal morp
【基金项目】
:
国家自然科学基金资助项目(60376003,60576005),广东自然科学基金资助项目(04011297),教育部科技研究重点项目([2005]13号),深圳市科技计划费用项目(200517)
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以氮化铝粉料为原料,在高纯氮气条件下用物理气相法制备氮化铝晶体。采用不同方法对氮化铝粉料进行预处理,研究它对氮化铝晶体形态的影响。实验结果表明,通过对氮化铝粉料的预烧结,可以有效地减少粉料中杂质的含量,实现合适的气体输运速率,从而得到了尺寸较大、质量较高的六棱柱形的氮化铝单晶体。
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