【摘 要】
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据《Photonics Spectra》1986年11月报导:休斯飞机公司已研制出256×256元的PtSi肖特基势垒混合式IRCCD阵列,阵列焦面集成的探测器元数多达65536个。值得注意的是,肖特基势
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据《Photonics Spectra》1986年11月报导:休斯飞机公司已研制出256×256元的PtSi肖特基势垒混合式IRCCD阵列,阵列焦面集成的探测器元数多达65536个。值得注意的是,肖特基势垒IRCCD通常都采用标准的硅大规模集成工艺直接集成单片式器件,如RCA和日本的三菱电机公司就是采用的这种方案;而休斯却与众不同,
According to Photonics Spectra, November 1986, Hughes Aircraft Corporation has developed a 256 × 256-element PtSi Schottky barrier hybrid IRCCD array with as many as 65536 elements integrated into the focal plane of the array. It is worth noting that the Schottky barrier IRCCDs are often integrated directly into monolithic devices using standard silicon LSI processes such as the one used by RCA and Japan’s Mitsubishi Corporation. Hughes is different ,
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