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文章综述了作者近年来在纳米金刚石薄膜掺杂和电学性能等方面的研究工作;阐述了采用离子注入方法及有限热氧化退火处理对纳米金刚石薄膜微结构和电学性能的影响,以及获得的高迁移率n型电导纳米金刚石薄膜。研究结果对于实现纳米金刚石薄膜在电子器件、电化学电极等领域的应用具有一定的价值。
纳米金刚石薄膜的掺杂与电学性能研究
【摘 要】
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文章综述了作者近年来在纳米金刚石薄膜掺杂和电学性能等方面的研究工作;阐述了采用离子注入方法及有限热氧化退火处理对纳米金刚石薄膜微结构和电学性能的影响,以及获得的高
【机 构】
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浙江工业大学材料科学与工程学院
【出 处】
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超硬材料工程
【发表日期】
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2017年06期
【基金项目】
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国家自然科学基金(50972129,50602039和11504325);科技部国家国际合作项目(2014DFR51160);国家重点研发计划中欧国际合作项目(2016YFE0133200);浙江省重点研发计划国际科技合作“一带一路”专项的资助
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