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列举了电子互连工艺研究中的若干错误观点,提出了个人对工艺工作的基本认识,希望有助于树立正确的工艺研究观,促进我国电子互连工艺技术向更高、更强的方向发展.
工艺工作中存在的若干错误观点及我的基本认识
【摘 要】
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列举了电子互连工艺研究中的若干错误观点,提出了个人对工艺工作的基本认识,希望有助于树立正确的工艺研究观,促进我国电子互连工艺技术向更高、更强的方向发展.
【机 构】
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江南汁算技术研究所
【出 处】
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印制电路信息
【发表日期】
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2004年8期
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