【摘 要】
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为满足超轻量化光学系统近衍射极限的性能要求,利用先进的CAE仿真与现代高性能SiC制作工艺,研究Φ500 mm SiC反射镜的超轻量化反射镜结构。首先,通过对比现有反射镜常用材料
【机 构】
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长春理工大学机电工程学院,长春奥普光电技术股份有限公司
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(No.11873046)
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为满足超轻量化光学系统近衍射极限的性能要求,利用先进的CAE仿真与现代高性能SiC制作工艺,研究Φ500 mm SiC反射镜的超轻量化反射镜结构。首先,通过对比现有反射镜常用材料和制作工艺,选取反射镜材料。针对圆形对称反射镜结构特性,采用全等刚度设计,结合集成优化方法,设计反射镜结构形式。同时,采用背部支撑结构,完成反射镜组件结构设计。仿真结果表明:主镜质量小于5 kg,面密度小于20 kg/m^2。3个方向自重变形下及4℃温升工况下的面形误差(RMS值)均优于λ/50;主镜组件的一阶谐振频率不小于120
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