【摘 要】
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从实际应用的角度,分析了晶圆加工生产线排程特点,建立了晶圆加工生产线排程数学模型(LSM-WFL),给出了以瓶颈设备为核心、蚁群优化算法为主要工具的晶圆加工生产线排程方法(L
【机 构】
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同济大学电子与信息工程学院,同济大学电子与信息工程学院,同济大学电子与信息工程学院 上海200092,上海200092,上海200092
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从实际应用的角度,分析了晶圆加工生产线排程特点,建立了晶圆加工生产线排程数学模型(LSM-WFL),给出了以瓶颈设备为核心、蚁群优化算法为主要工具的晶圆加工生产线排程方法(LSA-WFL)。基于实际生产线模型仿真验证的结果表明,LSA-WFL能够在允许的时间内获得晶圆加工生产线排程方案。
From the practical application point of view, the characteristics of wafer processing production line scheduling are analyzed, and the LSM-WFL model is established. The bottleneck equipment and the ant colony optimization algorithm are the main tools Circular Processing Line Scheduling Approach (LSA-WFL). The simulation results based on the actual production line model show that the LSA-WFL can obtain the wafer processing line scheduling plan within the allowed time.
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