半导体洁净室的空气净化技术综述

来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hua6952

【摘要】

：

阐述ITRS和IRDS的要求,洁净室空气净化系统对粒子浓度、气态污染物的管控均有严格要求.洁净室的主流净化技术包括风机过滤单元、高效/超高效过滤器、化学过滤器.直流FFU因其节能特性成为主流产品,高效/超高效过滤器的材质由传统的超细玻璃纤维发展到PTFE、纳米纤维.化学过滤器因其所去除的气态污染物的多样化,材料也更为多元化,包括活性炭、离子交换树脂、离子交换纤维及其他多种材料.

【作者】

：

陈玲

【机构】

：

美埃(中国)环境科技股份有限公司,江苏 211111

【出处】

：

集成电路应用

【发表日期】

：

2022年1期

【关键词】

：

半导体洁净室风机过滤单元高效/超高效过滤器化学过滤器滤料

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