激光束诱导电流在HgCdTe双色探测器工艺检测中的应用

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yclmq

【摘要】

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报道了激光束诱导电流(LBIC)在碲镉汞(HgCdTe)红外双色探测器工艺检测中的应用.通过LBIC测试,发现p型HgCdTe材料由B+离子注入损伤形成的n区面积大于其注入面积,并获得n区横向

【作者】

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叶振华胡晓宁蔡炜颖陈贵宾廖清君张海燕何力

【机构】

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中国科学院上海技术物理研究所

【出处】

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红外与毫米波学报

【发表日期】

：

2005年6期

【关键词】

：

激光束诱导电流 HGCDTE 干法刻蚀双色探测器 LBIC HgCdTe dry etching two-color detector

【基金项目】

：

中国科学院知识创新工程项目，国家自然科学基金

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报道了激光束诱导电流(LBIC)在碲镉汞(HgCdTe)红外双色探测器工艺检测中的应用.通过LBIC测试,发现p型HgCdTe材料由B+离子注入损伤形成的n区面积大于其注入面积,并获得n区横向的精确分布.同时,运用LBIC,获得了p型HgCdTe材料因不同能量的等离子体干法刻蚀诱导的刻蚀台面侧壁工艺损伤形成的n区横向分布,并得到了n区横向宽度与等离子体能量的关系.

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