【摘 要】
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根据高压硅器件表面有机介质绝缘保护的特点,结合电镜分析手段,实验研究了高压硅pn结的有机SP硅漆-硅pn结界面,有机硅JUS-Si界面特性,并根据他们的分子结构式,反应类型,以及应用中交
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根据高压硅器件表面有机介质绝缘保护的特点,结合电镜分析手段,实验研究了高压硅pn结的有机SP硅漆-硅pn结界面,有机硅JUS-Si界面特性,并根据他们的分子结构式,反应类型,以及应用中交联度等几个方面区别,进行了分析讨论,同时也对材料的电气性能进行了试验比较。
According to the characteristics of organic dielectric protection on the surface of high-voltage silicon devices, the organic SP silicon-silicon pn junction interface and the JUS-Si interface characteristics of high-voltage silicon pn junction were experimentally studied by means of electron microscopy. According to their molecular structure, The type of reaction, the degree of crosslinking and other aspects of the application, the analysis discussed, but also the electrical properties of the material were tested and compared.
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