【摘 要】
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利用白光作为光源的干涉仪（WLI）克服了单色相干光干涉相位不确定，不能够进行绝对测量的缺点，本文设计了一种串连差分白光干涉（DMLI）测量极薄金属带材厚度的新系统。该系统的特点是
【机 构】
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郑州大学物理工程学院电子科学技术系,浙江大学光电系国家光学仪器工程技术研究中心
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利用白光作为光源的干涉仪（WLI）克服了单色相干光干涉相位不确定，不能够进行绝对测量的缺点，本文设计了一种串连差分白光干涉（DMLI）测量极薄金属带材厚度的新系统。该系统的特点是由两个迈克尔逊干涉仪（MI）串联组成差分干涉系统，两个干涉仪的测量反射面由薄带的两个对应表面承担，干涉系统的最后输出信号只与薄带的厚度有关，而与薄带在测量光路中的位置无关。理论分析及实验结果表明，该系统既有干涉测量的高精度、高灵敏度，又具有较强的抗干扰能力。
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