用管路内三点压力测量高真空泵抽速的方法

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1.序言 在高真空泵测定抽这所采用的通导方法中,常常因测流量用的管路放气量和吸气量甚小而被忽视,但是从根本上来说,管路是放气和吸气的根源’“。为此我们进行了如下尝试:在管路内安装三个真空计,并用通导法计算管路的放气量和吸气量。我们还采用市售的离子泵对这种算法同过 1. Preamble In the high vacuum pump pumping test method used in this method of conduction, often because of the measured flow with the amount of deflation and inspiratory pipe is neglected, but fundamentally, the pipeline is deflated and sucked We did the following: We installed three vacuum gauges in the pipeline and calculated the deflated and inspiratory volume of the pipeline using the conduction method. We also used a commercially available ion pump for this The same algorithm
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