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三轴压电电阻型加速度传感器冈田和广最近开发出一种能检测加速度在Ｘ、Ｙ、Ｚ方向３个分量（ＡＸ，ＡＹ，ＡＺ）的三轴压电电阻型加速度传感器。这种传感器是应用了半导体技术和微切削加工技术制作的，在硅片表面上形成用来检测３个轴向加速度分量的检测电阻。在硅片背面...
三轴压电电阻型加速度传感器
【摘 要】
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三轴压电电阻型加速度传感器冈田和广最近开发出一种能检测加速度在Ｘ、Ｙ、Ｚ方向３个分量（ＡＸ，ＡＹ，ＡＺ）的三轴压电电阻型加速度传感器。这种传感器是应用了半导体技术和微切削加工技术制作的，在硅
【出 处】
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现代计量测试
【发表日期】
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1995年3期
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