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以磷肥生产过程中排放的含氟废气经吸收获得的氟硅酸为原料,开发了一条高纯二氧化硅副产氟化氢铵新工艺.通过实验得出最佳的工艺条件:n(氟硅酸):n(氨水)=1:3,氨水滴加速度为6 mL/min,反应温度为40℃,陈化时间为0.5h.由此得到的二氧化硅的纯度达到了99%,且氟化氢铵符合优等品行业标准.