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真空磁控溅射设备的真空度高低及稳定性直接决定了镀膜产品性能,真空条件控制是镀膜的关键技术之一。通过开发使用罗茨泵关键零部件的安装、拆卸装置,可以有效降低罗茨泵的日常自主保养成本和周期。
真空磁控溅射镀膜设备中罗茨泵的保养与维护
【摘 要】
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真空磁控溅射设备的真空度高低及稳定性直接决定了镀膜产品性能,真空条件控制是镀膜的关键技术之一。通过开发使用罗茨泵关键零部件的安装、拆卸装置,可以有效降低罗茨泵的日
【机 构】
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天津南玻节能玻璃有限公司
【出 处】
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玻璃
【发表日期】
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2019年8期
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