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纳米工作在纳米技术领域、超大规模集成电路制造和超精密工程中有着广泛的应用前景。现重点介绍Queensgate纲米工作台的关键技术，并对其相关的理论问题、工作原理和技术思想进行了必要的补充。
Queensgate纲米工作台的关键技术
【摘 要】
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纳米工作在纳米技术领域、超大规模集成电路制造和超精密工程中有着广泛的应用前景。现重点介绍Queensgate纲米工作台的关键技术，并对其相关的理论问题、工作原理和技术思想进
【机 构】
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中国科学技术大学九系
【出 处】
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机械设计与制造工程
【发表日期】
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2002年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目 (5 9875 0 3 8)
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