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CMP后大量颗粒吸附在芯片表面,根据颗粒在芯片表面的吸附状态,确立优先吸附模型。利用特选的表面活性剂优先吸附在芯片表面可以有效控制杂质的吸附状态,使之处于易于清洗的物理吸附。实验表明,特选的非离子界面活性剂能够有效去除CMP后表面吸附的杂质,达到较好的清洗效果。
一种有效去除CMP后表面吸附杂质的新方法
【摘 要】
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CMP后大量颗粒吸附在芯片表面,根据颗粒在芯片表面的吸附状态,确立优先吸附模型。利用特选的表面活性剂优先吸附在芯片表面可以有效控制杂质的吸附状态,使之处于易于清洗的物
【机 构】
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河北工业犬学微电子研究所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2006年03期
【基金项目】
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河北省自然基金资助项目(599041)
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