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本文研究了退火对辉光放电制备的非晶氮化硅(GD a-SiN_x∶H)材料光电导的影响、用光电导的方法给出材料的吸收系数、带尾态宽度等参数,指出退火是消除无规堆垛引起的局域态的有效方法。
退火对GDa—SiNx：H材料光电导的影响
【摘 要】
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本文研究了退火对辉光放电制备的非晶氮化硅(GD a-SiN_x∶H)材料光电导的影响、用光电导的方法给出材料的吸收系数、带尾态宽度等参数,指出退火是消除无规堆垛引起的局域态的
【机 构】
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中国科学技术大学物理系,山东曲阜师范大学物理系
【出 处】
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无机材料学报
【发表日期】
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1991年1期
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