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本文介绍了一种新型的三向压电加速度传感器,与以往的三向压电加速度传感器的区别在于:它只有一个敏感质量块。文中较详细地阐述了该传感器的工作原理、设计过程及其工艺方法,并给出了该传感器的性能指标。
新型的三向压电加速度传感器
【摘 要】
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本文介绍了一种新型的三向压电加速度传感器,与以往的三向压电加速度传感器的区别在于:它只有一个敏感质量块。文中较详细地阐述了该传感器的工作原理、设计过程及其工艺方法
【机 构】
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秦皇岛电子研究所,
【出 处】
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仪器制造
【发表日期】
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1983年04期
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