微型机电系统的计算机辅助设计系统简介

来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户：myd1977

【摘要】

：

虽然微型机电系统的制造通常使用基于集成电路工艺的平面制造技术,但由于MEMS器件的三维特性,使它与IC的制造有很大不同.而且,它涉及复杂的多能量域问题,给设计分析带来了较

【作者】

：

朱俊华周兆英叶雄英

【机构】

：

清华大学精密仪器与机械学系,北京市,100084

【出处】

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仪表技术与传感器

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

MEMS CAD 仿真建模

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虽然微型机电系统的制造通常使用基于集成电路工艺的平面制造技术,但由于MEMS器件的三维特性,使它与IC的制造有很大不同.而且,它涉及复杂的多能量域问题,给设计分析带来了较大难度.为加快MEMS的设计过程,需要有相应的计算机辅助设计系统(MEMSCAD).文中介绍了MEMSCAD的系统结构及国外的发展现状.

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