【摘 要】
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本实验采用直流磁控溅射法制备了一种非晶的富TiNiTi薄膜 ,其成分为Ni46.3 4% (原子分数 ) ,Ti 5 3 .66% (原子分数 )。采用变温方法研究了这种非晶薄膜的晶化动力学。测得非
【机 构】
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南开大学新能源材料研究所,天津理工学院材料系,北京航空航天大学材料科学与工程系,南开大学电极材料研究所 天津300071,天津300191,北京100083,天津300071
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本实验采用直流磁控溅射法制备了一种非晶的富TiNiTi薄膜 ,其成分为Ni46.3 4% (原子分数 ) ,Ti 5 3 .66% (原子分数 )。采用变温方法研究了这种非晶薄膜的晶化动力学。测得非晶薄膜晶化的激活能为 2 71kJ/mol ,平均Avrami指数为 1.17。采用以上获得的动力学参数计算了薄膜在 773K的等温晶化动力学曲线。计算结果与实验结果吻合较好。在薄膜的晶化过程中伴随着Ti2 Ni的析出
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